42.Pengeringan wafer silikon
《 Masalah 》
Metode konvensional bermasalah karena udara kering mengandung ion logam.
《 ⇒Titik Kaizen》
Dipanaskan dan dikeringkan dengan pemanas udara panas spesifikasi kamar bersih.
Karena pemanas dilapisi kaca, kandungan ion logam berkurang.
